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一種隔斷式MEMS引信

分類 : 專利

發布人 :

日期 : 2019-06-14

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一種隔斷式MEMS引信,包括藥劑層,藥劑層上部和藥劑蓋板層通過鍵合的方式連接,藥劑層下部和安保裝置層上部通過鍵合的方式連接,安保裝置層下部和加速膛層黏貼,安保裝置層包括硅襯底層,二氧化硅層以及可動硅結構層依次制作在硅襯底層上,在可動硅層中制作有四組驅動器,每組驅動器的右、左金屬電極分別制作在右、左錨點上,呈陣列的V型熱電執行器的兩端分別與左、右錨點相連,杠桿的首端通過右柔性梁與中間臂相連,下錨點通過左柔性梁與杠桿的首端相連,隔板位于杠桿的末端并且制作有互鎖槽與互鎖齒,與相鄰隔板對應的互鎖齒及互鎖槽形成互鎖,本發明將MEMS技術應用到引信,具有低成本、高智能、易集成的特點。

專利信息

專利號 CN201510790210.X 專利分類 發明專利
專利交易狀態 轉讓技術成果 有效截止時間 2020-06-14
合作方式 成果轉讓

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